心智观察所：中重稀土出口管制，事关光刻机产业对决

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心智观察所：中重稀土出口管制，事关光刻机产业对决
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2025-04-18 08:10:15 字号：A- A A+ 来源：观察者网

不过如果真要下定决心开发6.X纳米光源，其驱动激光、靶材、收集镜这三大关键技术都需要依赖我国所事实垄断的稀土材料。

就拿上文提到的BAT激光器为例，其正是以掺铥氟化钇锂 (Tm:YLF) 晶体作为增益介质，具有高激光损伤阈值、大发射截面和宽调谐范围等独特性能。此外，相较于现有的二氧化碳激光器，掺钇锂氟化物 (YLF) 和掺钇铝石榴石 (YAG) 等激光晶体工作波长还更有利于拉升光源转换效率。

从靶材上看，铽和钆取代锡靶，也是目前BEUV研究的热点。

根据今年2月份发表于《光学快报》（Optics Express）的上光所、长光所、长春理工大学团队联合研究成果，在现有的平面靶双激光脉冲方案基础上，研究人员通过腔体结构调控预形成等离子体的膨胀，进一步优化了钆基BEUV光源 (Gd-LPP) 的光谱性能。实验数据表明，腔体约束靶保留了传统平面靶双脉冲方案的优势，同时提高了光谱纯度，最高光谱纯度可达4.35%。

至于收集镜和BEUV光学系统反射镜，同样需要从传统钼/硅多层镜升级到基于镧系稀土元素的La/B4C多层镜。

从这样的极简梳理不难看出，有效控制相关稀土资源外流，将会对我国光刻机产业在BEUV阶段的后来居上奠定良好基础。

这就像是一场马拉松比赛，尽管对手看似“遥遥领先”，但最后10公里的赛道，我们却控制着前导车的速度和方向。

当然，要让稀土管制这张王牌真正发挥效力，绝不是一纸公告就能完成，政策落地需要破解的挑战同样不少。

首先是行业自律问题。由于国内稀土产量往往大幅超出国内需求量，各类稀土元素每年产量中绝大部分，最终以原料或产品的形式输出海外市场，因此当出口管制生效后，不少稀土企业经营者尽管对于国家战略考量心知肚明，但仍然难免遭遇“人性的考验”。面对国际市场的巨大牟利空间，走私冲动恐怕难以遏制，镓、锗、锑出口管制后曝出的一些案件已是明证。

其次是监管难度大。稀土元素可以通过多种形式出口，除了直接出口原材料外，还可以通过出口半成品或成品间接流出。这就像是想堵住一个筛子里的水，总有漏洞可钻。管制措施如何做到既不过度限制正常贸易，又能有效防止战略资源外流，需要监管部门下足“绣花功夫”。

再者是国际压力。西方国家对此次管制措施必然强烈反应，甚至可能以“违反WTO规则”为由提起诉讼，或采取额外报复措施。这种情况下，如何不被外部压力所动摇，需要智慧与定力。

最后，则是产业网络协同。单纯依靠资源管制并不能从根本上解决技术追赶问题，必须同步推进下游应用研发，尤其是BEUV光刻核心技术攻关。否则，即使握有稀土资源的天然优势，也难以转化为真正的产业竞争力。

这不是一场短跑，而是一场持久战，只有将稀土资源优势与技术创新紧密结合，才能在未来的极限技术竞争中摘取胜利果实。

本文系观察者网独家稿件，文章内容纯属作者个人观点，不代表平台观点，未经授权，不得转载，否则将追究法律责任。关注观察者网微信guanchacn，每日阅读趣味文章。

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