-
国产高能离子注入机成功实现百万电子伏特高能离子加速
最后更新: 2020-06-29 06:45:21新华社6月28日报道,记者28日从中国电子科技集团有限公司获悉,由该集团旗下电科装备自主研制的高能离子注入机成功实现百万电子伏特高能离子加速,性能达到国际先进水平。
据介绍,离子注入机是芯片制造中的关键装备。在芯片制造过程中,需要掺入不同种类的元素按预定方式改变材料的电性能,这些元素以带电离子的形式被加速至预定能量并注入至特定半导体材料中,离子注入机即是执行这一掺杂工艺的芯片制造设备。
高能离子注入机是离子注入机中技术难度最大的机型。长久以来,因其极大的研发难度和较高的行业竞争壁垒,被称为离子注入机领域的“珠穆朗玛峰”,是我国集成电路制造装备产业链上亟待攻克的关键一环。
电科装备在离子注入机领域具有较好的技术积淀,已连续突破中束流、大束流、特种应用及第三代半导体等离子注入机产品研发及产业化难题,产品广泛服务于全球知名芯片制造企业。
电科装备离子注入机总监张丛表示,电科装备将在年底前推出首台高能离子注入机,实现我国芯片制造领域全系列离子注入机自主创新发展,并为全球芯片制造企业提供离子注入机成套解决方案。
(记者胡喆)
- 原标题:国产高能离子注入机成功实现百万电子伏特高能离子加速
- 责任编辑: 奕含 
-
全球首个新冠灭活疫苗国际临床(Ⅲ期)试验正式启动
2020-06-23 21:04 新冠肺炎抗疫战 -
火箭专家揭秘北斗此前“发射前按下暂停键”原因
2020-06-23 11:19 北斗照耀 -
苹果宣布放弃英特尔,采用自研芯片
2020-06-23 08:17 大公司 -
欧洲将建“超级对撞机”?王贻芳:就看谁能抢先
2020-06-22 09:36 科技前沿 -
我国首套小功率霍尔电推进系统完成在轨测试
2020-06-22 06:17 航空航天 -
联通+电信VS移动+广电,5G从四足鼎立转向两极争霸?
2020-06-21 08:33 -
中兴澄清:专注于通信芯片设计,不具备芯片生产制造能力
2020-06-20 10:17 -
华春莹发推:美国应该搞非裔人权法案
2020-06-18 22:16 美国黑人血案 -
北斗三号一线专家回应推迟发射
2020-06-16 12:45 北斗照耀 -
北斗三号最后一颗全球组网卫星发射任务因故推迟
2020-06-16 07:06 北斗照耀 -
“墨子号”再获新突破:实现无中继千公里量子保密通信
2020-06-16 06:20 科技前沿 -
我国“海斗一号”全海深潜水器成功进行万米海试
2020-06-08 20:29 -
新冠病毒中和抗体临床试验启动
2020-06-08 16:05 新冠肺炎抗疫战 -
我国5G基站周增超1万,预计年底将建设超60万
2020-06-08 08:14 5G -
非典时很多元件靠进口,17年后已能支撑企业大搞跨界
2020-06-07 08:38 -
安卓版微信更新,已支持修改微信号
2020-06-05 13:53 大公司 -
我国首次完成珠峰区域航空重力测量
2020-06-03 08:35 -
“中原地区人群主体遗传结构至少在仰韶文化时期就已奠定”
2020-06-03 07:23 -
浙大:关键基因表达可使大豆单株产量提高10%
2020-06-02 08:43 聚焦三农
相关推荐 -
习近平抵达贝尔格莱德,塞空军战机为专机护航 评论 168习近平抵达塔布,马克龙总统夫妇机场迎接 评论 68习近平将抵达塔布,继续对法国进行国事访问 评论 8中法关于中东局势的联合声明 评论 106最新闻 Hot
-
5名中国游客在泰国遭绑架勒索,多名警察涉案
-
美“艾森豪威尔”号航母再入红海:执勤超200天
-
“欧洲战略自主正触底反弹,对华合作能更好认清方向”
-
“我们不是一个无法无天的国家…”
-
美国撤销高通、英特尔对华为出口许可,声称它俩跟中国关系太近
-
TikTok和字节跳动“出手”
-
上汽回应欧盟“警告”:不会提供商业敏感信息
-
配合俄罗斯,白俄罗斯也将突击检查战术核武部队
-
可能引起脑血栓等罕见副作用,这款新冠疫苗全球下架
-
马克龙:不寻求俄罗斯政权更迭
-
今年全球贸易增速将增长1倍以上,“中国和东亚将成主要推动力”
-
以色列国防军控制拉法口岸,多国谴责
-
加州高铁局被群嘲:人类史上最了不起的成就……
-
普京就职演说全文:不会拒绝与西方对话,但选择权在他们手上
-
美学者无语:连中国大蒜都害怕,我们的政府患上了“这种病”
-
华为苹果同日对决,背后还有中韩面板之争
-