国产刻蚀机入选全球首条5纳米芯片产线精度达到发丝的二万分之一

APP下载

扫一扫

下载观察者APP

国产刻蚀机入选全球首条5纳米芯片产线精度达到发丝的二万分之一

分享到：

2018-12-17 21:57:19 字号：A- A A+ 来源：观察者网综合

关键字: 芯片

上海市政府网站12月17日消息，5纳米，相当于头发丝直径（约为0.1毫米）的二万分之一，将成为集成电路芯片上的最小线宽。台积电计划明年进行5纳米制程试产，预计2020年量产。最近，中微半导体设备（上海）有限公司收到一个好消息：其自主研制的5纳米等离子体刻蚀机经台积电验证，性能优良，将用于全球首条5纳米制程生产线。刻蚀机是芯片制造的关键装备之一，中微突破了“卡脖子”技术，让“上海制造”跻身刻蚀机国际第一梯队。

走进位于金桥出口加工区的中微公司，就要换上公司提供的皮鞋，这家精密制造企业要求一尘不染。在洁净室门外，解放日报·上观新闻记者看到身穿白色工作服、戴着白帽子和口罩的研发人员，正在测试一台大型设备，它就是全球屈指可数的5纳米刻蚀机。只见一片片300毫米大硅片被机械手抓起，放入真空反应腔内，开始了它们的刻蚀之旅。“多种气体会进入真空反应腔，经过化学反应变成等离子气体，随即产生带电粒子和自由基，与硅片发生化学物理反应。”中微首席专家、副总裁倪图强博士说，这些化学物理反应在硅片上开槽打洞，形成令人叹为观止的微观结构——一块指甲盖大小的芯片，可集成60多亿个晶体管。

方寸间近乎极限的操作，对刻蚀机的控制精度提出很高要求。据倪图强介绍，刻蚀尺寸的大小与芯片温度有一一对应关系，中微自主研发的部件使刻蚀过程的温控精度保持在0.75摄氏度内，达到国际领先水平。气体喷淋盘是刻蚀机的核心部件之一，中微和国内企业联合开发出一套创新工艺，用这套工艺制造的金属陶瓷，其晶粒十分精细、致密。与进口喷淋盘相比，国产陶瓷镀膜的喷淋盘使用寿命延长一倍，造价却不到五分之一。

创新成功的秘诀是什么？2004年，尹志尧博士与杜志游博士、倪图强博士、麦仕义博士等40多位半导体设备专家创办了中微公司。当时，世界上最先进的芯片生产线是90纳米制程，但中微创立之初就开始研发40纳米刻蚀机，因为他们深知，集成电路产业技术迭代很快，必须超前两代开展自主研发。90纳米的下一代是65纳米，再下一代就是40纳米。拥有国际化团队，也是成功的一大原因。经过海外引进和本土培养，中微600多名员工来自十多个国家和地区。而且公司的研发团队十分完整，200多人的专业背景覆盖30多门学科，为刻蚀机研发这一系统工程奠定了基础。

凭借自主创新，中微已申请1200多件国内外专利。“因为有大量专利保护，我们已经历4次与西方国家企业的知识产权诉讼，未尝败绩。”公司副总裁曹炼生告诉记者。今年1月，国家知识产权局专利复审委基于中微提交的证据，认定纳斯达克上市公司维易科的一件发明专利无效。此后，中微经历的第三次诉讼以和解告终——他们和维易科分别在福建和纽约撤诉，握手言和。

“刻蚀机曾是一些发达国家的出口管制产品，但近年来，这种高端装备在出口管制名单上消失了。”倪图强表示，这说明如果我们突破了“卡脖子”技术，出口限制就会不复存在。如今，中微与泛林、应用材料、东京电子、日立4家美日企业一起，组成了国际第一梯队，为7纳米芯片生产线供应刻蚀机。明年，台积电将率先进入5纳米制程，已通过验证的国产5纳米刻蚀机，预计会获得比7纳米生产线更大的市场份额。
标签芯片
- 原标题：国产刻蚀机入选全球首条5纳米芯片产线精度达到发丝的二万分之一
- 责任编辑:吕栋
- 最后更新: 2018-12-18 09:42:35
- 居里告诉中国博士生：要有自己的原子弹
  
  2018-12-18 08:17
- 中国“彩虹鱼”下潜世界最深海沟
  
  2018-12-17 22:22 科技前沿
- 国内首款太赫兹视频合成孔径雷达研制成功
  
  2018-12-17 20:32 科技前沿
- 中看又中用：“天河一号”支持国家重大项目1600余项
  
  2018-12-17 13:49
- 克敌利器华硕电竞主板闪耀2018 ROG DAY
  
  2018-12-17 13:42 TMT观察
- 马赛克瞬间破解顶级白帽齐聚FIT 2019互联网安全创新大会
  
  2018-12-17 09:37
- 苹果高通互撕，为什么选择了中国法院？
  
  2018-12-17 08:21
- 舟山工厂交付首架波音737
  
  2018-12-15 19:12
- 填补国际相关空白我研发新型3D打印材料
  
  2018-12-15 15:21
- 广汽与宁德时代设两家动力电池合资公司
  
  2018-12-15 15:14
- 新一代拍照旗舰？华为P30 Pro屏幕保护膜曝光：水滴屏
  
  2018-12-15 12:05 手机
- 前紫光联席总裁李力游离职归国创立半导体公司
  
  2018-12-14 23:10
- 禁售老款iPhone还不够，高通瞄准XS、XR
  
  2018-12-14 20:55 苹果新“品”
- 孟晚舟被扣一事已波及日本供应商？华为否认
  
  2018-12-13 20:55 华为
- 俄“最先进机器人”里面竟然装着个大活人
  
  2018-12-13 18:49 俄罗斯之声
- 近月制动成功！嫦娥四号进入环月轨道
  
  2018-12-12 17:39 航空航天
- 孟晚舟律师：她将留在加拿大证明自己的清白
  
  2018-12-12 11:21 华为
- 华为：期待美加及时、公正结束此事
  
  2018-12-12 08:12 华为
- 一秒有多长，一公斤多重？新标准来了，颠覆你的认识
  
  2018-12-12 07:57
- 全球半导体设备采购额大陆首度超越台湾
  
  2018-12-12 07:56
搜索

   观察者头条查看全部

美媒焦虑：哪怕只为跟上中国，美政府都不能这么干啊评论 55

“美国在地球上跟中国争，却把太空主导地位拱手让出” 评论 88

“趁纳瓦罗不在，他们冲进白宫劝说特朗普暂停关税” 评论 163

“中国正投入万亿美元，我们却在这胡搞” 评论 140

真急了！“白宫拟成立涉华关税应急工作组” 评论 301

   风闻 · 24小时最热查看全部

   最新视频查看全部
最新闻 Hot
快讯

国产刻蚀机入选全球首条5纳米芯片产线精度达到发丝的二万分之一

居里告诉中国博士生：要有自己的原子弹

中国“彩虹鱼”下潜世界最深海沟

国内首款太赫兹视频合成孔径雷达研制成功

中看又中用：“天河一号”支持国家重大项目1600余项

克敌利器华硕电竞主板闪耀2018 ROG DAY

马赛克瞬间破解顶级白帽齐聚FIT 2019互联网安全创新大会

苹果高通互撕，为什么选择了中国法院？

舟山工厂交付首架波音737

填补国际相关空白我研发新型3D打印材料

广汽与宁德时代设两家动力电池合资公司

新一代拍照旗舰？华为P30 Pro屏幕保护膜曝光：水滴屏

前紫光联席总裁李力游离职归国创立半导体公司

禁售老款iPhone还不够，高通瞄准XS、XR

孟晚舟被扣一事已波及日本供应商？华为否认

俄“最先进机器人”里面竟然装着个大活人

近月制动成功！嫦娥四号进入环月轨道

孟晚舟律师：她将留在加拿大证明自己的清白

华为：期待美加及时、公正结束此事

一秒有多长，一公斤多重？新标准来了，颠覆你的认识

全球半导体设备采购额大陆首度超越台湾

美媒焦虑：哪怕只为跟上中国，美政府都不能这么干啊

特朗普“抱怨”后，日本考虑放宽汽车进口安全标准

“五角大楼里完全崩溃了”，3名美国防部高官被解雇

“趁纳瓦罗不在，他们冲进白宫劝说特朗普暂停关税”

泽连斯基回应：停火30小时太短，建议30天

韩国一战机飞行训练中掉落机炮吊舱和空油箱

“美国在地球上跟中国争，却把太空主导地位拱手让出”

内塔尼亚胡：摧毁哈马斯前不会结束军事行动

超900人签署“反关税宣言”，包括两位诺贝尔奖获得者

“中国正投入万亿美元，我们却在这胡搞”

真急了！“白宫拟成立涉华关税应急工作组”

黄仁勋访华盼继续合作，特朗普回应

中国男子在TikTok“神评”美国关税，米尔斯海默秒答：赞同

“内地电影票房过亿那一刻，香港电影就被颠覆了”

美国税局代理局长刚上任三天就被免，“贝森特抱怨他是马斯克的人”

特朗普也直说了：不行，就放弃

国产刻蚀机入选全球首条5纳米芯片产线 精度达到发丝的二万分之一

国产刻蚀机入选全球首条5纳米芯片产线精度达到发丝的二万分之一