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央视探访国产芯片光刻区:国产芯片给雷达装上最强大脑
最后更新: 2021-11-19 14:05:45中央电视台国防军事频道近日探访国产芯片光刻区,带来现场报道。
视频内容:
光刻工艺使用的光刻胶,它是一种光敏材料,不能轻易地暴露在有紫外线的环境里,而这种黄光就是不含紫外线的。
我身边这台机器是匀胶机,可以看到滴管正在把光刻胶滴在基片的中心,然后基片飞速旋转,利用离心力把多余的光刻胶甩出,再把边上较厚的胶洗除,使胶体均匀的附着在表面,这个过程有点像是摊煎饼一样。在此之后紫外线就有了用武之地,刚才旋涂完光刻材料,并且软烘之后的基片就会被送到箱体里面来进行光刻。
光刻工艺是利用类似照相制版的原理,在基片表面上刻蚀精细图形的表面加工技术,也就是说它使用紫外线把电路图投影“印刷”到覆盖有感光材料的基片表面,基片经过光刻之后还要放到显影液里面,就像是我们洗照片一样,溶解发生光化学反应的光刻胶。
电路就是这样被一层一层的印刷上去,随着集成电路所包含的器件越来越多,要求单个器件尺寸及其间隔越来越小,所以光刻所能分辨的最小线条宽度也标志着集成电路的工艺水平。
我们大胆创新,探索出一条独具特色的高集成、射频微组装工艺技术路线,使T/R组件产品体积大幅缩减至传统产品的十分之一到二十分之一,实现了轻小型化量产,有力地支撑了装备小型化的发展趋势。
标签 科技前沿- 原标题:记者独家探访国产芯片光刻区
- 责任编辑: 李丽 
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